三氯化鐵蝕刻銅原理：
1、三氯化鐵濃度對(duì)蝕刻速度的影響
三氯化鐵蝕刻液中隨著三氯化鐵濃度的增高，蝕刻速度加快。當(dāng)所含三氯化鐵超過某一濃度時(shí)，由于溶液黏度增加，蝕刻速度反而有所下降。
2、鹽酸的添加量對(duì)蝕刻速度的影響
在蝕刻液中加入鹽酸，一是可以抑制三氯化鐵和氯化銅的水解；二是可提高蝕刻速度。特別是當(dāng)蝕刻液中銅含量達(dá)到37.4g/L后，鹽酸的作用更加明顯。
3、溫度對(duì)蝕刻速度的影響
在三氯化鐵蝕刻工藝中，隨溫度的增加，蝕刻速度亦加快，比如當(dāng)溫度在50度時(shí)，全新蝕刻液對(duì)銅的蝕刻速度可達(dá)10um/min。但在實(shí)際生產(chǎn)中，都是采用常溫蝕刻方法。三氯化鐵對(duì)銅的蝕刻是一個(gè)放熱反應(yīng)，隨著蝕刻的進(jìn)行，蝕刻液溫度會(huì)逐漸升高，蝕刻速度加快。隨著三氯化鐵的消耗，蝕刻速度下降。同時(shí)這一溫升過程比較緩慢，所以在整個(gè)蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。
4、攪拌對(duì)蝕刻速度的影響
靜止蝕刻的速度和蝕刻質(zhì)量都是比較差的。這是因?yàn)樵谖g刻過程中，一方面被蝕刻銅表面和蝕刻液中都會(huì)有沉淀生成，影響了銅的正常蝕刻；另一方面，銅在蝕刻過程中，被蝕刻表面的溶液會(huì)逐漸呈現(xiàn)暗綠色，這表明在補(bǔ)被蝕刻表面的三氯化鐵已跟銅表面發(fā)生了還原反應(yīng)而失去了氧化能力。